硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法-GB/T 1557-2018_万博亚洲网
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硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

标 准 号: GB/T 1557-2018
替代情况:
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 新特能源股份有限公司、有研半导体材料有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司
发布日期: 2018-09-17
实施日期: 2019-06-01
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更新日期: 2019年01月02日
下载地址: 点击这里 16.80 MB
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内容摘要

本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶晶体中间隙氧含量的方法。
本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·cm的P型硅单晶中间隙氧含量的测定。以常温红外设备测试时,氧含量(原子数)测试范围从1×1016 cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度;以低温红外设备测试时,氧含量(原子数)的测试范围从0.5×1015 cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。

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