电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材-YS/T 1025-2015_万博亚洲网
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电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材

标 准 号: YS/T 1025-2015
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司
发布日期: 2015-04-30
实施日期: 2015-10-01
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更新日期: 2018年05月10日
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内容摘要

本标准规定了电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输存贮、订货单(或合同)等内容。本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材,简称高纯钨及钨合金靶。

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